CMF9000系列數(shù)顯氣體質(zhì)量流量計(jì)是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。該流量表采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各種清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對流量計(jì)的靈活配置與參數(shù)查詢。CMF9000具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量表的參數(shù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
靈敏度高，有極小的始動流量；
傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了流量計(jì)的高精度計(jì)量；
在單個芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100：1甚至更高：
各種連接方式，易于安裝與使用；
輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓：
LED顯示瞬時流量和累積流量，尣許現(xiàn)場用鍵盤配置流量計(jì)參數(shù)：
可記錄自上電以來瞬時流量的最大值和最小值，具有超量程指示功能；
零點(diǎn)穩(wěn)定度高；
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性：
低功耗、低壓損；
響應(yīng)速度快。
性能參數(shù)：
功能項(xiàng)
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CMF9000系列數(shù)顯型氣體質(zhì)量流量計(jì)
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性能參數(shù)
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單位
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備注
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規(guī)格
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CMF9005
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CMF9008
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CMF9019
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流量范圍
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5、10、20、30、40、50
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20、30、40、50、100、150、200、250、300
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200、300、500、600、800、1000
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L/MIN
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通經(jīng)
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5
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8
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19
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mm
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量程比
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100:1
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供電電源
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8~24VDC,50mA
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VDC
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可定制
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精度
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±1.5
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%FS
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重復(fù)性
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0.25
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%
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響應(yīng)時間
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67（默認(rèn)）
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ms
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可定制
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最大壓力
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默認(rèn)0.5（可定制最大0.8）
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MPa
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通訊方式
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RS485(MODBUS)
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輸出方式
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模擬輸出1-5
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VDC
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4-20mA
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選配
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顯示方式
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瞬時流量：SLPM；累計(jì)流量：SL
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溫度
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介質(zhì)溫度(-10~65)，環(huán)境溫度(-25~85)
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℃
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工作濕度
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<100%RH(無結(jié)冰、無凝露)
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重量
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0.245
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0.215
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0.395
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kg
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接口
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G1/4
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G3/8
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G3/4
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可定制
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校準(zhǔn)條件
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空氣，20℃, 101.325kPa
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產(chǎn)品應(yīng)用：工業(yè)、醫(yī)療、石油、儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室、燃?xì)?/span>、化工、冶煉、食品加工、機(jī)電設(shè)備