英國西薩塞克斯郡，克勞雷 (2011年12月14日)－全球領(lǐng)先的真空和尾氣處理設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司擴展其廣受歡迎的應(yīng)用于嚴(yán)苛工藝的iXH產(chǎn)品系列，最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列針對需要較高氣體流量和靈活泵溫范圍的平板顯示器、太陽能和先進(jìn)半導(dǎo)體工藝而優(yōu)化，具有較低的能耗和較長的平均維護(hù)間隔時間(mean time between servicing， MTBS)，從而顯著降低了擁有成本，同時具備iXH450系列的小占位面積和氫氣抽取能力。
Edwards平板顯示器(FPD)和太陽能部門干泵產(chǎn)品經(jīng)理Allister Watson博士表示：“iXH家族的新增系列設(shè)計用于應(yīng)對平板顯示器、太陽能和先進(jìn)半導(dǎo)體工藝中遇到的不同抽取挑戰(zhàn)，能夠顯著延長泵的平均維護(hù)間隔時間。迄今為止，行業(yè)缺乏具有應(yīng)對這些不同挑戰(zhàn)靈活性的一體化嚴(yán)苛工藝干泵。而iXH500H系列具有更靈活地泵溫控制，能夠滿足這一需求，同時減少多達(dá)15%的能耗。因而相比上一代iXH干泵，iXH500H的擁有成本降低了30%。”
平板顯示器、太陽能和半導(dǎo)體制造商使用的真空泵必須適應(yīng)廣泛的工作條件和材料。iXH500H系列具有溫度靈活性，因而適用于這類嚴(yán)苛工藝。iXH500H系列在低泵溫下運行，有益于使用高流量腐蝕性氣體的工藝(例如，F(xiàn)PD PECVD、薄膜太陽能PECVD、半導(dǎo)體MOCVD)，或使用熱敏前體（pre-cursor）(例如原子層沉積)能夠在泵內(nèi)沉淀副產(chǎn)物的工藝。在有副產(chǎn)品物在泵內(nèi)冷凝風(fēng)險(例如高k電介質(zhì)沉積)的場合，可以選擇高工作溫度的泵。
Edwards現(xiàn)可提供iXH500H系列干泵，并提供從現(xiàn)有的iXH450系列轉(zhuǎn)換至新型iXH500H系列的升級服務(wù)。
注解：
PECVD：等離子化學(xué)氣相沉積；
MOCVD：金屬有機化學(xué)氣相沉積
關(guān)于Edwards
Edwards是全球領(lǐng)先的技術(shù)和環(huán)保企業(yè)，為半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽能制造行業(yè)提供一體化解決方案，并為工業(yè)、科學(xué)、化工和研發(fā)應(yīng)用提供真空技術(shù)。
公司在全球擁有3000多名員工，分別從事高科技真空泵和尾氣處理系統(tǒng)的設(shè)計、制造和技術(shù)支持工作。
Edwards發(fā)明了經(jīng)濟(jì)型低維護(hù)商用無油“干式”真空泵，同時其尾氣處理系統(tǒng)可防止排放有害溫室氣體，這使Edwards的總體碳足跡為負(fù)值*。
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