真空閥門是真空系統(tǒng)中用來調(diào)節(jié)氣流量、切斷和接通管路的元件，按照其工作原理主要分為截止閥、蝶閥、角閥、閘板閥、電磁閥、球閥、安全閥、調(diào)節(jié)閥等等。
真空閥門具有下列特點(diǎn)：
工作壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70~+150℃的范圍。
對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。
按介質(zhì)壓力真空閥門可分成四組：
一、低真空閥門：介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱；
二、中真空閥門：p=1×10-3毫米汞柱。
三、高真空閥門：p=1×10-4~1×10-7毫米汞柱；
真空閥門選用時(shí)要考慮的依據(jù)有以下幾點(diǎn)：
一、根據(jù)工作壓力有低真空閥門、高真空閥門和超高真空閥門。
二、根據(jù)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)有蝶閥、球閥、隔膜閥、擋板閥、插板閥、角閥、直通閥、三通閥。
三、根據(jù)傳動(dòng)原理有手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)、電磁。一般氣動(dòng)是電磁先導(dǎo)、氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過程，也可用手控制先導(dǎo)閥氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過程。電動(dòng)為手、電兩用，當(dāng)停電時(shí)可用手動(dòng)進(jìn)行操作。
四、根據(jù)材料有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門。
五、根據(jù)動(dòng)密封的材料也可分金屬密封和非金屬密封閥門。軸封用O形橡膠圈一般真空動(dòng)密封的漏率為10-4Pa.L/S，在軸運(yùn)動(dòng)過程中真空度不高，可用于要求不高的高真空條件下使用；軸封為金屬波紋管密封，其漏率為10-7Pa.L/S,適用于超高真空條件下使用。