當(dāng)前，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
競爭日益激烈
半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件國產(chǎn)化
成為國家戰(zhàn)略的重中之重
在無錫經(jīng)開區(qū)企業(yè)無錫索奧精密閥門有限公司的產(chǎn)線測試區(qū)，一排排銀色的半導(dǎo)體真空閥門正在進(jìn)行出廠測試。多輪壓力測試后，屏幕上的數(shù)值依然在設(shè)定的0.1%誤差范圍內(nèi)穩(wěn)定波動，標(biāo)志著其核心指標(biāo)達(dá)到國際產(chǎn)品水平，該領(lǐng)域國產(chǎn)設(shè)備首次具備與歐美國際巨頭同臺競技的能力。
近日，索奧自主研發(fā)的半導(dǎo)體APC擺閥完成技術(shù)攻關(guān)，繼其蝶閥產(chǎn)品之后，正式進(jìn)入設(shè)備廠商的驗證流程。這兩款具備高精度自動控壓能力的半導(dǎo)體設(shè)備核心部件，填補(bǔ)了國內(nèi)高端自動控壓真空閥領(lǐng)域的技術(shù)空白，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化注入了新動能。
真空閥門被稱為半導(dǎo)體設(shè)備的“壓力守門人”，在半導(dǎo)體制程的刻蝕和沉積工藝中，由真空閥控制的壓力穩(wěn)定性、精度等直接決定著晶圓的良品率，其重要性不言而喻。企業(yè)技術(shù)總監(jiān)李秉根介紹，真空閥的研發(fā)和生產(chǎn)難度較高，需要長時間的行業(yè)經(jīng)驗和資源積累，國產(chǎn)設(shè)備起步較晚，90%的真空閥門都要依賴歐美進(jìn)口，不但價格高昂，交期更是長達(dá)半年。隨著國內(nèi)需求的持續(xù)增長和外部制裁的日益加劇，國產(chǎn)替代的需求愈發(fā)顯得緊迫和強(qiáng)烈。
索奧科技成立于2024年11月，主要從事半導(dǎo)體領(lǐng)域核心裝備與零部件的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，其響應(yīng)國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化戰(zhàn)略，積極投身國內(nèi)真空閥門等領(lǐng)域。在歷經(jīng)從零起步的產(chǎn)品研發(fā)，以及多輪合作伙伴的更替探索后，索奧選擇“彎道超車”——與擁有十余年經(jīng)驗的韓國Ronda、Novasen公司開展深度合作。依托韓方在APC閥門領(lǐng)域的技術(shù)積累，以及中國團(tuán)隊的本土化運營經(jīng)驗，索奧對標(biāo)國際一流產(chǎn)品，迅速完成了半導(dǎo)體級蝶閥、擺閥等真空閥門的研發(fā)與國產(chǎn)化替代，改變了國內(nèi)半導(dǎo)體該領(lǐng)域產(chǎn)品大量依賴進(jìn)口的局面。
“軟件邏輯是產(chǎn)品核心�！逼髽I(yè)運營副總褚倩介紹，閥門能夠根據(jù)真空腔體內(nèi)壓力的變化自主學(xué)習(xí)、實時精準(zhǔn)調(diào)節(jié)閥門開合角度，并將控壓精度穩(wěn)定在±0.1%的國際水平�！拔覀兊哪繕�(biāo)是真空閥全線產(chǎn)品的國產(chǎn)化�！瘪屹徽f，企業(yè)已成立了國內(nèi)產(chǎn)品研發(fā)中心，并組建本土化研發(fā)團(tuán)隊。未來所有機(jī)械設(shè)計部分都將由中國團(tuán)隊完成，軟件部分則由中韓研發(fā)團(tuán)隊協(xié)同進(jìn)行，在推進(jìn)本土化的同時，確保核心技術(shù)競爭力持續(xù)提升。
目前，企業(yè)研發(fā)投入占比超30%，已獲得國家高新技術(shù)企業(yè)、無錫市雛鷹企業(yè)、江蘇省民營科技企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)等榮譽(yù)，累計獲得****30項，重點合作客戶包括拓荊科技、微導(dǎo)納米、先導(dǎo)科技、北方華創(chuàng)等多家半導(dǎo)體或光伏設(shè)備廠家。
值得一提的是，經(jīng)開的產(chǎn)業(yè)生態(tài)為企業(yè)技術(shù)突破助力。通過經(jīng)開區(qū)舉辦的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)沙龍，企業(yè)對接上了在同一產(chǎn)業(yè)園區(qū)的電機(jī)供應(yīng)商無錫奕帆。據(jù)介紹，目前奕帆的電機(jī)已通過送樣驗證，未來可能會批量應(yīng)用于索奧閥門產(chǎn)品上，上下游協(xié)同的模式在經(jīng)開“生態(tài)圈”內(nèi)即可完成。
褚倩表示，依托區(qū)域產(chǎn)業(yè)生態(tài)和政策，企業(yè)正加速產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，目前已與多家本地產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)建立初步合作。未來，索奧將繼續(xù)深耕真空閥門領(lǐng)域，在為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化提供助力的同時，助推區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈上下游更好協(xié)同發(fā)展，形成更強(qiáng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展合力。